雖然ISO20000中沒有對指標的要求，但由于PDCA要求不斷檢查衡量流程運行的情況，尤其是在“Check”這個階段，定量的指標更有助于對流程的監控和檢查，以便制定更加準確的改進計劃。下面具體介紹一下關鍵成功因素、關鍵目標指標和關鍵績效指標的定義。
1、關鍵成功因素（critical success factors , CSF）
關鍵成功因素是由哈佛大學教授William Zani在1970年提出的信息系統開發規劃方法。它為IT部門控制信息技術及其處理過程提供了實施指南；是信息技術處理過程中最關鍵的要素，是戰略性的、技術性的過程或活動，勾畫出了IT的控制輪廓。
關 鍵成功因素可以從標準控制模型和IT管理框架的目標與審計指南中獲取。這些標準要求：信息技術要與企業的運營情況相符:信息技術使營運業務可行，并使其收 益最大化；合理使用信息技術資源；適當管理IT的有關風險。在組織運行的業務系統中總是存在著多個影響達成業務系統目標關鍵的、主要的因素，通過識別這些 關鍵成功因素能夠找出實現目標所需的關鍵信息結合，圍繞這些關鍵因素確定系統的需求和開發的優先次序。而關鍵成功因素主要來自以下幾個方面。
（1）組織自身的結構、特質和經營性質的不同決定了每個組織有獨特的關鍵成功因素。
（2）組織在市場中的地位、采取競爭策略的不同也會產生不同的關鍵成功因素。
（3）組織所處環境的變化，市場需求的波動都會帶來關鍵成功因素的改變。
2、關鍵目標指標（key goal indicator , KGI）
關鍵目標指標是指通過對控制業務績效系統的創建和維護，來監督IT給組織帶來的商業價值，體現了業務績效處理的過程，并通過平衡記分卡的記錄來評定處理結果。關鍵目標指標通常定義需要實現的目標。
3、關鍵績效指標（key performance indicator , KPI）
關鍵績效指標對關鍵成功因素進行評價，通過監測某IT處理過程的執行情況，告訴管理層該過程是否滿足其經營需求。關鍵績效指標是IT處理過程的性能指標，表現為IT的實際業績。通過有效性、保密性、完整性、可用性、一致性、可靠性等指標來測定IT的績效。
關 鍵績效指標是通過對組織內部某一流程的輸入端、輸出端的關鍵參數進行設置、取樣、計算、分析，衡量流程績效的一種目標式量化管理指標。對于 ISO20000的管理流程而言，關鍵績效指標可以分為三類：對流程本身的效率進行考核的指標、對流程管理人員進行考核的指標、對流程執行人員進行考核的 指標。
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