（trace analysis），物質中含量在百萬分之一以下的組合的分析方法。痕量一詞的含義隨著痕量分析技術的發展而有所變化。痕量分析包括測定痕量元素在試樣中的總濃度，和用探針技術測定痕量元素在試樣中或試樣表面的分布狀況。一般分成3 個基本步驟：取樣、樣品預處理和測定。由于被測元素在樣品中含量很低、分布很不均勻，特別是環境樣品，往往隨時間、空間變化波動很大，要充分注意取樣的代表性和保證一定的樣品量。為了增強對痕量成分的檢出能力和除去基本干擾，痕量組分的分離與富集常常是必不可少的，有兩種方案：一種是將主要組分從樣品中分離出來，讓痕量組分留在溶液中；另一種是將痕量組分分離出來而讓主要組分留在溶液中。為了提高分離、富集效果，通常應用掩蔽技術。樣品預處理的另一個目的是使痕量組分轉變為最適宜于最后測量的形式。常用的分離、富集方法有揮發、沉淀和共沉淀、電解、液-液萃取、離子交換、色譜、萃取色譜、電泳等。在分離、富集過程中對于污染和痕量組分的損失要予以充分注意。測定痕量組分的方法，取決于被分析的對象和測定方法的靈敏度、準確度、精密度和選擇性以及經濟上的合理性。在從經典的比色法和分光光度法到各種近代的儀器分析等痕量分析方法中，較常用的方法有：①光學方法。包括分光光度法、原子發射光譜法、原子吸收分光光度法、原子熒光光譜法、分子熒光和磷光法、化學發光法、激光增強電離光譜法等。②電化學方法。包括極譜分析法、庫侖分析法、電位法和計時電位法等。③X射線法。包括電子微探針法、X射線熒光光譜法等。④放射化學法。包括活化分析法、同位素稀釋法、放射性標記分析法等。⑤質譜法。包括二次離子質譜分析、火花源固體質譜。⑥色譜法。包括氣相色譜法、液相色譜法、離子色譜法等。
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